产品展示
搬运视频介绍
不受晶圆材质校准器 (SAL3000HV系列 全自动对应版本)
特点
晶圆校准器不受晶圆材质 SAL3000HV 系列 (全自动对应版本) ：
2016年12月14日之后出厂的Aligner SAL3000HV系列 产品都会配备具有全自动调整功能的JEL ALIGN TOOL软件。
JEL开发的晶圆校准工具软件可以帮助用户独立完成校准调整工作。
适用于2寸-300mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner。
可适用于硅片，带BG胶带（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准。
SAL3261HV（2寸～150mm晶圆）
SAL3481HV（100mm～200mm晶圆）
SAL38C2HV（200mm～300mm晶圆）