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倒片机系统

储片盒内晶圆的自动搬运系统

SSY-10010
特点

    可安全准确的搬运储片盒的的薄片。

  • 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
  • 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
  • 自动识别储片盒内晶圆和垫纸(层间纸)
  • 可自动识别储片盒内晶圆的当前高度
  • 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
  • 搭载储片盒自动开盖机构(已申请专利)
  • 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
  • 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
  • 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

应用设备实例

半导体工厂生产线

演示展示机型
  • 照片和视频为 SSY-10010
规格
可对应片盒的种类 200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
被搬运物 200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
外形尺寸 1100 (宽) x 980 (深) x 1805 (高)
厂务 电源:AC200V±10%  洁净气源:0.5 MPa 250 NL/min 以上
重量 600 kg

*我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
  可对应多家厂商规格的储片盒。有关产品规格及产品相关详细信息请咨询我司销售人员。

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。