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大气洁净机械手臂

4轴水平多关节型洁净机械手臂(带有对应PLP自动校准功能的机械手臂)

JCR4400
特点

    带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂

  • 适用于并列配置工位的传送
  • 非接触校准功能可实现高精度的搬运
  • 可搬运重量10kg

应用设备实例

AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应JCR(带有对应PLP自动校准功能的机械手臂)
规格
被搬运物 基板 500 mm x 500 mm
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(被搬送物体中心到达距离)
1290 mm 330 度 400 mm
搬运速度* 1170 mm/1.6 sec 330 度/1.5 sec 400 mm/1.4 sec
精度* 第1关节轴 (J1轴) 第2关节轴 (J2轴) 第3关节轴 (J3轴)
3.5x10-3 1.8x10-3 1.8x10-3
第4关节轴 (J4轴)  
2.4x10-3  
重复性精度 ±0.2 mm以内
洁净度 0.3 µm/cf Class 10 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相AC200V±10% 4 kVA
真空:优于-53 kPa
质量 机械手臂本体 大约120 kg

*测试机型:JCR4400-400-AM(带有对应PLP自动校准功能的机械手臂)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。