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搬运视频介绍

伯努利搬运

特点

针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指。
可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用。
通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计。

伯努利机械手指有两种,一种是接触的(上面视频),另一种是非接触 (下面视频)